2025年11月18日，異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇上，甬江實驗室微納平臺8英寸驗證線通線。至此，該實驗室正式建成國內(nèi)領(lǐng)先、世界一流的全鏈條異質(zhì)異構(gòu)集成共享平臺。
微納平臺占地12000平方米，其中潔凈室面積6000平方米，已建成6英寸研發(fā)線和8英寸驗證線各一條，配備165臺（套）高端精密設(shè)備。8英寸驗證線的開通，“不僅是從‘6英寸’到‘8英寸’的尺寸升級，更是從‘概念驗證’到‘工程驗證’的能力躍遷。”甬江實驗室主任崔平說，這標志著微納平臺體系化能力的正式形成。
半個多世紀以來，摩爾定律猶如一座燈塔，指引著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)飛速發(fā)展。然而，隨著晶體管尺寸逼近原子極限，傳統(tǒng)“微縮”路徑已難以為繼，“異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)”正是應(yīng)對這一挑戰(zhàn)的創(chuàng)新方案，也是實現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“變道超車”的戰(zhàn)略抓手?！斑@就像搭樂高，我們不再局限于用一種材料、一種工藝?！别瓕嶒炇椅⒓{平臺技術(shù)負責(zé)人張瓦利作了個形象的比喻。異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)，不再執(zhí)著于把所有功能都塞進一塊芯片，而是讓不同材料、不同功能的芯片“自由組合”，組成更強大、更高效的系統(tǒng)。張瓦利說：“即便是28納米級芯片，通過集成工藝，也能發(fā)揮出14納米級芯片的性能?！?/p>
走進甬江實驗室微納平臺，未來感、科技感頓時拉滿。上百臺高端精密設(shè)備“高冷”而神秘，穿著白色防護服的研發(fā)人員來回穿梭，仿佛進入了科幻電影里的場景。目前，微納平臺已構(gòu)建一個開放共享的基礎(chǔ)設(shè)施、一個中立可信的賦能平臺、一個鏈接產(chǎn)學(xué)研用的創(chuàng)新樞紐?！敖窈髮⑴c企業(yè)共同探索從中試走向量產(chǎn)的可行路徑，為產(chǎn)業(yè)提供最需要、最關(guān)鍵的臨門一腳?！?/p>
先進驗證線，是團隊拼出來的?！百I設(shè)備不難，全鏈條布局、全鏈條調(diào)通，很難很難。”張瓦利說。此次通線的驗證線，覆蓋材料外延、晶圓制造、芯片加工、封裝測試、器件模塊可靠性分析全鏈條。每一道工藝、每一個器件都要反復(fù)調(diào)試優(yōu)化，然后實現(xiàn)全流程打通?！皢问腔瘜W(xué)劑拋光這一個工藝，我們調(diào)試就用了300片8寸晶圓，其間我們又進行了幾十次實驗設(shè)計，迭代了很多次器件設(shè)計，做了上千個工藝表征?！睆埻呃f。65人的科研團隊，全身心撲在實驗室，“死磕”驗證線。早上8點到實驗室，晚上10點多離開。那幾個月，不少人的平均工作時長接近14個小時，節(jié)假日也不例外……團隊靠不懈努力，用一年時間，拼出“國內(nèi)領(lǐng)先”。
崔平表示，集成電路是寧波重點布局的新興產(chǎn)業(yè)、前沿產(chǎn)業(yè)和標志性產(chǎn)業(yè)。作為省市重大科創(chuàng)平臺，甬江實驗室必須以一流的設(shè)備、專業(yè)的人才，賦能每一位企業(yè)家、科學(xué)家、科創(chuàng)者，賦能寧波半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高水平、高質(zhì)量發(fā)展?！拔⒓{平臺是實驗室體系化建設(shè)的關(guān)鍵一環(huán)，去年6英寸研發(fā)線投入運行后，為產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新提供了有力支撐。今天8英寸驗證線正式通線，更是寧波科技創(chuàng)新發(fā)展的大事?！别苿?chuàng)辦常務(wù)副主任徐云說。
