2025年2月10日，珠海至微半導體零部件清洗項目動工儀式在珠海高新區(qū)智能制造加速基地舉行，標志著上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司（以下簡稱至純科技）在華南地區(qū)的戰(zhàn)略布局邁出重要一步，有助進一步完善珠海集成電路產業(yè)鏈、加快發(fā)展產業(yè)生態(tài)，為華南地區(qū)半導體產業(yè)集群發(fā)展帶來新活力。
珠海至微半導體科技有限公司是上市公司至純科技的子公司。作為國內集成電路領域領軍企業(yè)，至純科技主要從事半導體制程和廠務設備的研發(fā)、生產以及半導體零部件清洗服務，多項技術已達國際先進水平，年營收約40億元。
珠海至微半導體零部件清洗項目去年9月簽約落戶珠海高新區(qū)，由珠海高新區(qū)與橫琴粵澳深度合作區(qū)聯動引進。此次動工的廠房總面積4200平方米，配置10級無塵車間，規(guī)劃建設4條獨立制程清洗產線及表面處理產線，預計年清洗產能達36萬件。
該項目聚焦半導體晶圓廠關鍵設備的零部件精密清洗與翻修服務，通過延長設備壽命、降低運營成本，助力晶圓廠高效生產。該項目旨在建設規(guī)模化的半導體清洗工廠，建成后可形成覆蓋珠三角半導體晶圓廠的“2小時配套圈”，為區(qū)域半導體產業(yè)鏈提供快速響應服務。
2024年，珠海高新區(qū)半導體與集成電路產業(yè)經濟規(guī)模實現106億元，同比增長22%。珠海高新區(qū)黨工委書記趙適劍表示，珠海至微半導體零部件清洗項目動工，有助進一步完善珠海集成電路產業(yè)鏈、加快發(fā)展產業(yè)生態(tài)，為廣東打造中國集成電路產業(yè)“第三極”提供支撐。
廣東省集成電路行業(yè)協(xié)會會長陳衛(wèi)表示，珠海高新區(qū)地處大灣區(qū)黃金內灣核心區(qū)域，半導體產業(yè)發(fā)展氛圍濃厚，營商環(huán)境優(yōu)越，政務服務高效。珠海至微半導體零部件清洗項目落地動工，將有力推動珠海高新區(qū)半導體與集成電路產業(yè)快速發(fā)展。
